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第47节（第3页）

唯一值得庆幸的一点就是，接近式光刻机在掩膜板与光刻胶基底层留有一个狭窄的空隙，不会没进行一次尝试就要担心掩膜被污染，只得关闭设备重新再来一次。

负责带着李筠学习的赵蔓，看着她那熟练的动作，满意地点点头。

终于送来的不是一个愣头青，什么都不懂的人，要知道他们团队现在的任务非常重，时间紧迫，根本没有人想要把自己的时间浪费在无意义的人和事情上。

她看着李筠有模有样的动作说：“看你的样子也不是什么完全新手，你和于亮一起负责物镜的调试，不断找出最小比例的组合模式，有什么新变化记得全部记录下来。我那边还有其他的事情要忙，你们俩记得合作才能发挥最大的力量。”

说完，她也不等两人回答，转身离开。

于亮也是个只想要做事的性子，直接站到观察位，冷冷地出声道：

“那么我先来，李筠你负责记录现在的物镜调配情况，以及晶圆显影比例。”

“没问题。”

李筠让开自己的位置，让于亮先行，泛着这个物镜的调配特别耗费眼神和精力，等到于亮不行了，她迅速顶上就行，没必要争一时之快。

拿出他们放在一旁的记录册子，拿着笔记录下现在的情况。

和他们一样组合的人还有不少，每个人负责的物镜大小、薄厚、份数都是不一样的，只为找出最合适的搭配。

之前因为人手的问题，都是于亮自己一个人单独进行。

刚开始于亮还有些担心多了一个人会耽误自己的进度，可很快他就看出了李筠不是一般人，在他还没有提醒的时候，就已经手速飞快，把自己想要说的数据记录在册。

这种完美搭档一起做事就是顺心，短短几个小时，就已经达成了他之前一天的工作量。

于此同时到来的还有他双眼发昏的晕厥感，他不甘心地揉了揉自己晕眩的双眼，摇摇头，不甘心地往下走。

对着李筠说：“接下来你来观察，我记录。”

“可以。”

李筠将最后一笔记下，将册子和笔交到于亮手里，自己则是登上观察位，查看情况。

依据自己刚刚的观察，开始调整物镜内部的透镜位置。

于亮看到这一幕刚想提醒些什么，但很快就收回自己的手，他根据刚刚对李筠的观察，相信她不是无的放矢。

很快，当他看见新出来的数据之后，不由自主地瞪大双眼。

因为掩膜板与光刻胶基底层之间的空隙，他们能够避免掩膜的污染，制作时间大大缩短。

但同时也带来了另外一个隐患，那就是空隙的存在会使得原先的缩放比例大大变低，在晶圆上的成像会变得更加模糊。

于亮相信只要是自己的眼神没出问题的话，眼前的这个缩放比例已经达到了原先该有的水准。

不说提高，就这样的变化就足以让其他人侧目。

他有些惊讶地观察李筠的表情，在看到她还想要继续调整的时候，赶紧出声打断：