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第264章 等一个大惊喜（第2页）

罗长辉显然很清楚各种光源的情况，因此看到文件中内容后便基本确定很大概率是可行的。

也就是说只要他们按照这份文件中的设计方案来制造氟化氙光源，那么就有可能成功，如此便相当于彻底解决了高端光刻机的光源问题，大幅度缩短国产高端光刻机的研发进度。

但他最震撼的，还是设计方案出自徐昀之手。

他可以确定徐昀在加入项目成为负责人前，应该是没有系统性研究过光刻机的。

也就是说徐昀在短短十几天内，不但确定了研究方向还完成了方案。

简直就是妖孽。

尽管早就听说徐昀的天赋非常强大，连续创造出了多项不同领域内的奇迹。

不过这并没有什么清晰概念。

而现在他见识到了。

强行压制住内心无比的激动，他再次确认道：“这份方案是你写出来的？”

“虽然还没有进行实际测试，但我觉得这项理论是可行的。”

徐昀面色平静回复一句，接着又反问道：“罗院士以为这项理论能行吗？”

“可以试一试。”罗长辉沉声答道。

就目前而言他们并没有其它成熟的光源方案，徐昀的氟化氙光源确实是最佳选择。

加上文件中的理论非常详细，真着手去制造的话用不了多长时间便能得到稳定的氟化氙光源，届时是否能满足光刻机要求，只需要测试出光源可以稳定发出的功率就行。

真要成功的话，国产极紫外光刻机便相当于攻克一项重大难题。

是突破性的进展。

关键距离新极紫外光刻机项目成立还没多久。

当然就算失败了也没关系。

权当积累经验。

他们两人的对话进行到这里，旁边研究员杨靖教授也终于回过神来，脸上浮现出溢于言表的笑容。

“这份方案太棒了，我敢肯定只要按照上面的去做肯定能制造出功率强大稳定的氟化氙光源。”

随着他的话音落下，其他几位研究员也像是被打开了话匣子纷纷开口表态。

“我暂时没发现有什么漏洞。”

“方案理论是可行的，我们应该立刻尝试实验。”

“院里邀请徐教授您来担任项目负责人简直是非常正确的决定，这才多长时间您就已经有了极紫外光刻机光源的解决方案。”

将几位研究员的话听进耳朵，徐昀脸上浮现出淡然笑容稍微谦虚了句。

“我之前对光源有过相关研究，这项方案说实话也没有百分百的把握。”

“别说百分百的把握，哪怕只有一点把握都值得我们去尝试。”罗长辉这时候情绪也平静了下来，接过话茬开口补充了句。