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第124章 不展示（第2页）

方程环视了会议室一圈，说道："大家来参观交流，我和公司全体同仁是欢迎的。

技术研究嘛，不是闭门造车。只有经常进行一些技术交流和分享，才能更好更快地推动技术的发展和进步。"

说到这里，他顿了顿，继续说道："可做为客人，对主人起码应该有些最起码的尊重吧？

你们可以不认可我们的技术路径，但不能因此就认为我们的技术不行。

我们的技术你真的懂吗？

懂，你们也早就弄出来了。

不懂，那就应该抱着谦虚请教的心，而不是在主家横挑鼻子竖挑眼！"

方程的一席话，让会场的人都有些如坐针毡，很不自然。

他们做为行业中的翘楚，走到哪里那都是被人捧着哄着，什么时候被人这样批评过？

可他们也是有气撒不出。因为方程说的也是事实。他们自己扪心自问，自己确实有些喧宾夺主了。

方程没在这个问题上继续说一下，而是道："我将大体的思路跟大家说一下，然后我们再一起讨论。

现在西方光刻机光源主要应用的激光等离子体技术，这个我就不多说了。主要讲讲放电等离子体技术。"

方程坐在那里开始了他的介绍。

放电等离子体技术，其实就是通过快脉冲、大电流对介质放电，然后形成高温高密度等离子体，从而实现极紫外辐射光自发辐射输出。

而根据放电方式的不同，放电等离子体技术又分为等离子体焦点技术、中空阴极管放电技术、毛细管放电等离子体技术、激光辅助放电等离子体技术。

激光辅助放电等离子体机制极紫外光刻光源，用锡做为工作介质，用纳秒激光与锡相互作用在正负电极之间产生锡的初始等离子体，形成放电通道…

方程大概讲了一遍后，继续道："国外在几年前也有过此类的研究，相信大家也有耳闻。

虽然放电等离子体技术有诸多优点，比如光源结构简单，投资运营成本低，适合大规模工业应用等。但它的缺点同样很多。

比如说，碎屑控制、重复频率、放电条件下光源稳定性、增大光源输出角等问题。"

在座的众人纷纷点头。这也是他们过来参观方程式有限公司的主要原因。

"我们公司根据其缺点，逐一进行了解决！"

此言一出，会议室内顿时一片倒吸冷气声！